Мета: полягає в тому, щоб на основі системного вивчення загальних основ метрології, метрологічних норм і правил та засобів вимірювальної техніки студенти накопичили знання та набули практичні навички із вимірювання параметрів напівпровідникових матеріалів; методів обробки результатів прямих і непрямих вимірювань з інформаційною оцінкою процесу вимірювань; послідовності виконання метрологічних операцій.
В результаті вивчення навчальної дисципліни студенти повинні
знати:
– терміни та визначення в галузі метрології;
– одиниці фізичних величин;
– способи вираження та форми подання результатів та характеристики точності вимірювань;
– державні еталони, робочі еталони та зразкові ЗВТ;
– методи та засоби метрологічної перевірки, калібрування, випробувань та метрологічної атестації ЗВТ;
– норми точності вимірювань;
– методики виконання вимірювань;
– методики оцінки вірогідності та форми подання даних про властивості речовин та матеріалів, вимоги до проведення експертизи, а також атестації цих даних;
– методи вимірювання параметрів напівпровідникових матеріалів;
вміти:
– реалізувати метод вимірювання з використанням елементарних операцій та елементарних засобів вимірювання;
– класифікувати похибки та знати їх властивості;
– розраховувати погрішності вимірювань;
– правильно інтерпретувати та представляти результати вимірювань;
– визначати електропровідність напівпровідникових матеріалів зондовими методами;
– визначати параметри напівпровідників за допомогою вимірювання ЕРС Холлу;
– вимірювати товщини епітаксіальних шарів і тонких плівок.
Викладач дисципліни: Бабіч Андрій Вікторович, канд. фіз.-матем. наук, доцент кафедри мікро- та наноелектроніки
Найменування показників |
Галузь знань, напрям підготовки, освітньо-кваліфікаційний рівень |
Характеристика навчальної дисципліни |
|
денна форма навчання |
заочна форма навчання |
||
Кількість кредитів – 4 |
Галузь знань: 0508 „Електроніка“ |
нормативна |
|
Напрям підготовки 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ |
|||
Модулів – 2 |
Спеціальність (професійне спрямування): 7(8).05080101 „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“; 7.18010010 „Якість, стандартизація та сертифікація“ |
Рік підготовки: |
|
Змістових модулів – 2 |
1-й |
1-й |
|
Індивідуальне науково-дослідне завдання –
|
Семестр |
||
Загальна кількість годин – 144 |
1-й |
1-й |
|
Лекції |
|||
Тижневих годин для денної форми навчання: аудиторних – 2 самостійної роботи студента – 7 |
Освітній ступень: бакалавр |
16 год. |
4 год. |
Практичні, семінарські |
|||
–– |
–– |
||
Лабораторні |
|||
16 год. |
4 год. |
||
Самостійна робота |
|||
112 год. |
136 год. |
||
Індивідуальні завдання: – |
|||
Вид контролю: іспит |