ЗАПОРІЗЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

Мета: вивчення фізичних явищ, що відбуваються на різних етапах процесу напилення і росту плівок; існуючих теорій росту тонких плівок, розгляд сучасних методів росту і контролю якості плівок, їх можливостей та обмежень; взаємозв’язку фізичних властивостей тонких плівок із структурою та дефектами.

У результаті вивчення навчальної дисципліни студент повинен

знати:

– фізичні основи технологій напилення тонких плівок і методи вимірювання їх товщини;

– специфіку структури тонких плівок, основні типи дефектів структури тонких плівок, взаємозв’язок фізичних властивостей тонких плівок зі структурою та дефектами;

– область застосування технологій напилення тонких плівок

вміти:

– переносити отриманні знання про технології напилення тонких плівок на суміжні предметні області і до використання цих знань для побудови міждисциплінарних методичних розробок;

– визначати експериментальним або розрахунковим шляхом оптимальні режими проведення окремих технологічних операцій

володіти:

– інформацією про значення тонких плівок у сучасній науці, техніці і технологіях, областях застосування і перспективах розвитку матеріалів твердотільної електроніки і приладів на їх основі;

– методами планування і проведення досліджень та експериментів з використанням технології напилення тонких плівок;

– методиками роботи на напилювальних установках;

– методами контролю параметрів тонких плівок і вибору технологічних режимів

Викладач дисципліни: Смирнова Ніна Анатоліївна, старший викладач