Мета: вивчення фізичних явищ, що відбуваються на різних етапах процесу напилення і росту плівок; існуючих теорій росту тонких плівок, розгляд сучасних методів росту і контролю якості плівок, їх можливостей та обмежень; взаємозв’язку фізичних властивостей тонких плівок із структурою та дефектами.
У результаті вивчення навчальної дисципліни студент повинен
знати:
– фізичні основи технологій напилення тонких плівок і методи вимірювання їх товщини;
– специфіку структури тонких плівок, основні типи дефектів структури тонких плівок, взаємозв’язок фізичних властивостей тонких плівок зі структурою та дефектами;
– область застосування технологій напилення тонких плівок
вміти:
– переносити отриманні знання про технології напилення тонких плівок на суміжні предметні області і до використання цих знань для побудови міждисциплінарних методичних розробок;
– визначати експериментальним або розрахунковим шляхом оптимальні режими проведення окремих технологічних операцій
володіти:
– інформацією про значення тонких плівок у сучасній науці, техніці і технологіях, областях застосування і перспективах розвитку матеріалів твердотільної електроніки і приладів на їх основі;
– методами планування і проведення досліджень та експериментів з використанням технології напилення тонких плівок;
– методиками роботи на напилювальних установках;
– методами контролю параметрів тонких плівок і вибору технологічних режимів
Викладач дисципліни: Смирнова Ніна Анатоліївна, старший викладач
Найменування показників
|
Галузь знань, напрям підготовки, освітньо-кваліфікаційний рівень
|
Характеристика навчальної дисципліни
|
денна форма навчання
|
заочна форма навчання
|
Кількість кредитів – 2,5
|
Галузь знань:
0508 „Електроніка“
|
Варіативна
|
Напрям підготовки:
050801 „Мікро- та наноелектроніка“
|
Модулів – 2
|
Спеціальність (професійне спрямування):
8.05080101 „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“
|
Рік підготовки:
|
Змістових модулів – 2
|
4-й
|
4-й
|
Індивідуальне науково-дослідне завдання –
|
Семестр
|
Загальна кількість годин – 90
|
7-й
|
7-й
|
Лекції
|
Тижневих годин для денної форми навчання:
аудиторних – 2
самостійної роботи студента –
|
Освітньо-кваліфікаційний рівень: бакалавр
|
16 год.
|
4 год.
|
Практичні, семінарські
|
–– год.
|
–– год.
|
Лабораторні
|
16 год.
|
4 год.
|
Самостійна робота
|
58 год.
|
82 год.
|
Індивідуальні завдання: год.
|
Вид контролю: залік
|