Мета: вивчення фізичних явищ, що відбуваються на різних етапах процесу напилення і росту плівок; існуючих теорій росту тонких плівок, розгляд сучасних методів росту і контролю якості плівок, їх можливостей та обмежень; взаємозв’язку фізичних властивостей тонких плівок із структурою та дефектами.
У результаті вивчення навчальної дисципліни студент повинен
знати:
– фізичні основи технологій напилення тонких плівок і методи вимірювання їх товщини;
– специфіку структури тонких плівок, основні типи дефектів структури тонких плівок, взаємозв’язок фізичних властивостей тонких плівок зі структурою та дефектами;
– область застосування технологій напилення тонких плівок
вміти:
– переносити отриманні знання про технології напилення тонких плівок на суміжні предметні області і до використання цих знань для побудови міждисциплінарних методичних розробок;
– визначати експериментальним або розрахунковим шляхом оптимальні режими проведення окремих технологічних операцій
володіти:
– інформацією про значення тонких плівок у сучасній науці, техніці і технологіях, областях застосування і перспективах розвитку матеріалів твердотільної електроніки і приладів на їх основі;
– методами планування і проведення досліджень та експериментів з використанням технології напилення тонких плівок;
– методиками роботи на напилювальних установках;
– методами контролю параметрів тонких плівок і вибору технологічних режимів
Викладач дисципліни: Смирнова Ніна Анатоліївна, старший викладач
Найменування показників |
Галузь знань, напрям підготовки, освітньо-кваліфікаційний рівень |
Характеристика навчальної дисципліни |
|
денна форма навчання |
заочна форма навчання |
||
Кількість кредитів – 2,5 |
Галузь знань: 0508 „Електроніка“ |
Варіативна |
|
Напрям підготовки: 050801 „Мікро- та наноелектроніка“ |
|||
Модулів – 2 |
Спеціальність (професійне спрямування): 8.05080101 „Мікро- та наноелектронні прилади і пристрої“ |
Рік підготовки: |
|
Змістових модулів – 2 |
4-й |
4-й |
|
Індивідуальне науково-дослідне завдання – |
Семестр |
||
Загальна кількість годин – 90 |
7-й |
7-й |
|
Лекції |
|||
Тижневих годин для денної форми навчання: аудиторних – 2 самостійної роботи студента – |
Освітньо-кваліфікаційний рівень: бакалавр |
16 год. |
4 год. |
Практичні, семінарські |
|||
–– год. |
–– год. |
||
Лабораторні |
|||
16 год. |
4 год. |
||
Самостійна робота |
|||
58 год. |
82 год. |
||
Індивідуальні завдання: год. |
|||
Вид контролю: залік |