Ви є тут

Головна

Прізвище: Матюшин

Ім'я: Володимир

По батькові: Михайлович

 

Посада: професор кафедри

Науковий ступінь: д-р. фіз.-мат. наук

Вчене звання: професор

 

Google Scholar: Matyushin, V

Scopus ID: 6603775971

Researcher ID: AAE-4992-2019

ORCID: 0000-0002-3133-3583.

 

Освіта: вища

  • Запорізький машинобудівний інститут ім. В.Я.Чубаря, {назва факультету}, 1978, спеціальність за дипломом – Конструювання і виробництво радіообладнання», кваліфікація за дипломом – «Інженер-конструктор технолог радіоелектронної апаратури»
 

Дисертації:

  • Кандидатська дисертація:

    «Низкотемпературная хемостимулированная гетеродиффузия в германии», рік захисту – 1982, Донецький державний університет, м. Донецьк.
  • Докторська дисертація:

    «Вплив атомарного водню на процеси масопереносу із тонких металевих плівок в системах з обмеженою розчинністю», рік захисту – 2005, Харківський фізико-технологічний інститут, м. Харків.

Наукові інтереси:

  • підвищення точності вимірювань;
  • оновлення параметрів, що вимірюються сучасними методами;
  • фізика поверхні
  • фізика та технологія тонких плівок
  • фізика взаємодії атомарного водню з поверхнею

Дисципліни, які викладає:

  • Технологічні основи електроніки
  • Технологія тонких плівок
  • Технологія виробництва ІС, ГІС, ВЕТ
  • Функціональна електроніка
  • Фізика водневих технологій

Основні наукові роботи (публікації):

  • В.М. Матюшин, В.П.Шаповалов, Р.В.Мартинюк Воздействие атомарного водорода на структуру металл-полупроводник // Изв. РАН.- Сер Физическая 2002.-T.66.-Xe8.-C.1212-1214.
  • Matyushin V.M., Matiu shin M.V. Savin V.V. Atomization of indium films under the action of atomic hydrogen // Russian Journal of Physical Chemistry, 2001.-V.75.-N7-P.l 182-1184.
  • В.М.Матюшин, М.В.Матюшин, В.В.Савин Распыление пленок индия в среде атомарного водорода // Журнал физической хи-мии-2001 .-Т.75 .-№7.-С. 1291 -1294.
  • В.И.Татаринов, В.М.Матюшин Исследование воздействия атомарного водорода на поликристаллические тонкие слои кремния // Поверхность.- 2О01.-№5.-СЛ07-110.
  • V.M. Matyushin Low-Temperature Diffusion of Indium into Germanium Assisted by Atomic Hydrogen // Semiconductors.-2001 .- Vol.35.-N3.-P.287-290.
  • В.М. Матюшин Низкотемпературная диффузия индия в германии, стимулированная атомарным водородом // Физика и техника полуп-ро¬водников.- 2001.-Т.35.-В.З.-С.301-304.
  • В.И.Татаринов, В.М.Матюшин Влияние атомарного водорода на структуру поликристалли-ческих тонких пленок кремния // Известия РАН, серия физическая.-2000.-Т.64- №4.-С.745-748.
  • В.М. Матюшин Низкотемпературная диффузия серебра в германии, стимулированная воздействием атомов водорода // Поверхность.-2000 - №6.-С59-62.
  • В.М. Матюшин, В.П.Шаповалов, А.Р.Кошман Low temperature diffusion in semi-conductors caused by atomic Hy¬drogen stimulation. // Int I. Hydrogen Energy, Vol 1996
  • В.М. Матюшин, V.P.Shapovalov, SvD.Tochilin Investigation of the influence of atomic hydrogen on germanium crystal morhology. // Vacuum 1993
  • В.М. Матюшин, А.Н.Горбань Низкотемпературная хемостимулированная диффузия меди в германии // Письма в ЖТФ Т.6, в.8.1980

Всього наукових праць: {загальна кількість наукових праць}, з них патентів – {кількість патентів}, монографій – {кількість монографій}, навчальних посібників – {кількість навчальних посібників}.

Перелік усіх наукових публікацій за роками

Участь у конференціях:

  • В.М. Матюшин, В.П.Шаповалов, А.Р.Кошман Низкотемпературная диффузия в полупроводниках стимулированная атомарным водородом. // Водородная обработка материалов. I междуна-родная конференция «ВОМ-95», Донецк 20-22 сентября, 1995
  • В.М. Матюшин, В.П .Шаповалов, А.Р.Кошман Низкотемпературное распыление тонких пленок металлов под воздействием атомарного водорода. // Труды украинского вакуумного общества. Т.З. 22-24 апреля 1997, Херсон, стр.485-488
  • В.М. Матюшин, В.И.Лищенко, А.Н.Горбань Миграция атомов ме-ди и никеля в приповерхностном слое германия стимулированная воздействием атомарного водорода. // В кн.: Активирующие про¬цессы технологии микро¬электроники. Таганрог, 1988,6.IХ с.102-107
  • В.М. Матюшин, А.Н.Горбань Стимулирование диффузии никеля в германии воздействием атомарного водорода. // В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом 4II. Материалы VIII Всесоюзной конференции. Москва, 1987 с. 141-142
  • В.М. Матюшин, В.П.Шаповалов С. Д. Точилин Исследование взаимодействия атомарного водорода на морфологию поверхности германия. // В кн.: Взаимодействие ио¬нов с поверх-ностью. Мате¬риалы X Всесоюзной кон-ференции ВИП. Мос-ква. НИФИ сентябрь 1991
  • В.М. Матюшин, А.Н.Горбань Фотоэмиссия на пленках индия при воздействии атомов водорода тепловых энергий. // В кн.: Вторичная ион-ная и ионно-фотонная эмиссия . Харьков, 1983
  • В.М. Матюшин, А.Н.Горбань, С.Е.Смарев Свечение под плен-кой индия в атомар-ном водороде // В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым телом. Мин-ск, 1981

Перелік усіх конференцій, у яких взято участь, за роками

 

Рік початку діяльності в університеті: 1981.

Основні мови спілкування: українська, російська.

Контакти:

адреса: м. Запоріжжя, вул. Гоголя, 64
аудиторія (кабінет): 113
тел.: 764-67-33